Publications associated to project

FV10312 MPO TRIO
Planar optical structures and security elements based on multilayer systems
Z. Hubicka    (2017-2021)

Total: 3
Petr Sezemský, Vítězslav Straňák, Jiří Kratochvíl, Martin Čada, Rainer Hippler, Miroslav Hrabovský, Zdeněk Hubička
Modified high frequency probe approach for diagnostics of highly reactive plasma
Plasma Sources Science and Technology 28 (2019) 115009(1)-115009(10).

Zdeněk Hubička, Martin Čada, Jiří Olejníček, Petra Kšírová, Drahoslav Tvarog
Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films.
(2018) -.

Z. Hubička, M. Čada, J. Olejníček, P. Kšírová, V. Straňák, P. Adámek, D. Tvarog
Reactive HiPIMS deposition system optimised for optical thin films
Funkční vzorek je realizován jako dvou-magnetronový naprašovací systém s vloženou ICP elektrodou pracující na vlnové rezonanci. Magnetrony jsou napájeny dvěma HiPIMS pulzními zdroji. Držák vzorků je připojen na zdroj RF napětí pracující v pulzně modulovaném módu. Depoziční systém umožňuje připravovat slitinové tenké vrstvy za extrémně nízkých tlaků.